外气先通过MAU（外气进行首次过滤）进入无尘室顶部，再通过FFU（二次过滤）将风送进无尘室内，送下来的风通过高架地板，再进入回风箱送到无尘室顶部。

附：FFU风机过滤单元特点
1.FFU风机外形尺寸（mm）：1175*575*320，噪声52~56分贝；
2.FFU箱体和高效过滤器采用分体式设计,安装,更换高效更方便；
3.风机采用新加坡PCI离心风机或者国产铝叶轮离心风机,工作时间长达5万小时以上；
4.并具有节能、计算机集中控制、运行稳定、噪声低、数字化调整等特性；
5.FFU采用独特的风道风速均匀，整个出风面以0.45M/S风速均匀送出。
6.壳体可选用镜面不锈钢、覆铝锌板、冷板静电喷塑制做美观大方；
7． 风机采用进口高效离心风机，具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级调速等特性，风机质量可靠，工作寿命长达10万小时或以上。
8． 特别适合于组装成超净生产线，可根据工艺需要布置为单台使用，也可将多台串联形成100级流水装配线。
9． 壳体结构选用不锈钢、铝合金、覆铝锌板、冷轧钢板材料制造，重量轻、抗腐蚀、防锈、美观大方。
10． 产品出厂前均按美国联邦标准209E，METOME尘埃粒子计数器逐台扫描检测，确保质量。
11. 新型配带液槽高效过滤器的FFU更能保证FFU的密封性能。

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