为了使洁净室内保持所需要的温度湿度、风速、压力和洁净度等参数，最常用的方法是向室内不断送入一定量经过处理的空气，以消除洁净室内外各种热湿干扰及尘埃污染。为获得送入洁净室具有一定状态的空气，就需要一整套设备对空气进行处理，并不断送入室内，又不断从室内排出一 部分来，这一整套设备就构成了洁净空调系统。
室外新风W经新风机组净化、降温、减湿、再热处理后送入顶棚。为使洁净室的温湿度控制得更平稳，通常将处理后的新风调整到洁净室的要求状态N，由DDC(Direct Digital Control) 实现净化新风的精确控制。由于新风机组采用了喷淋洁净水的喷淋段和再热段，所以L点应是新风机器露点，位于N点的垂直下方。经过安装在回风道上的FFU处理后的H状态回风在顶棚内与经过新风机组处理的新风混合，形成O状态的送风，再由FFU加压过滤送入洁净室内。送入室内的洁净空气吸收显热后变为室内状态N，一部分由工艺设备的排风装置排到室外，另一部分再经FFU处理后回用。