请详细阅读本说明书，并妥善保存，以备日后维护时参考  。
1-1 风机过滤器单元
风机过滤器单元（FFU ）是一种 自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装 置 。
风机从 FFU 顶部将空气吸入并经 HEPA 过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业 。
● 使用环境
•周围温度：5℃～40℃
•湿度：低于 85%RH(没有湿气凝结状态下)
•周围空气：一般室内空气
•清净度：100-10 级
•请避免连续反复 ON/OFF 操作机体
如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组，将会影响制品性能，并可能会发生电气短路现象，造成电气部件损坏，缩短制品使用寿命。为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅第 4 页的〝重要安全事项〞。

2 1-2 结构及特点

(1) 主要部件

1 2-1 安装使用环境
● 风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。
● 设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物，以免发生火灾。
● 请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品，如果机体吸入这些化学物品将有可能会导致火灾或爆炸等事故发生。
● 请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品，如果使用这些化学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。
2 2-2 运送与安装
● 请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品，搬运时务必保持水平，如果使用轻便推车等工具运送时，请选用车台超过机体包装宽度的推车。
● 机体安装后，机体上方至少须预留 30 公分以上的空间，以利将来机体维修，未预留足够的维修空间，机体将无法进行维修及部件更换。
● 试运转前，请先拆除吸入口上及均流板下附着的保护膜。
3 2-3 安装 • 使用注意事项
● 风机过滤器单元安装于无尘室时，请务必遵守下列指示
● 当进入无尘室时
请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室内。
点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。
● 切勿直接重压风机过滤器单元机体，以免造成机体变形。
● 请勿以沾湿的手操作机体，以免发生触电危险。
● 请勿遮蔽机体吸入口及吹出口，机体吸入口及吹出口被遮蔽，将导致机体性能无法正常发挥，造成机体功能异常或电气部件损坏。
● 实施第三种接地工事，以避免电击产生之危险。
. 2. 重要安全事项
3-1 1 1 1 运转前检查事项
运转前请先检查下列注意事项：
● 机体外部电源是否连接，电源供应是否妥当。
● 机体接地工事是否已实施。
● 机体上方空气吸入口及下方滤网的保护膜是否已取下。
3-2 2 2 2 运转时注意事项
(1) 开始运转
● 当电源开启后，机体即开始运转。
● 机体运转后请确认是否有异常现象。
当有下列情形发生，机体无法正常运转时，请向经销服务人员反映。
● 机体内部有异物，机体离心风扇无法正常旋转。
● 机体内部电线脱落，接头松脱。
● 机体内部电气部件，如过电源插头、马达损坏。
(2) 停止运转
● 运转后如发现异常现象，请即切断电源，停止机体运转。

4. 维修 • 点检
● 自购买日起进行定期检查，请勿自行检查，以免造成触电或火灾等事故发生。
● 除了维修人员外，请勿自行拆解、修理或变更规格，以免造成触电或火灾的发生。
● 当更换滤网等部件时，请注意不要损坏滤纸。
● 维修•点检时，请务必先切断电源，停止机器运转后再实施，以免发生触电或伤害危险。
● 当安装•维修•点检完成后，在机体起动前，请确定机体基础稳固。
4-1 日常维护
每天工作开始之前请依表 2.点检下列各项，当发现有不正常的情形，立即切断电源并采取改正措施。

4-2 定期维护
使用风机过滤器单元一段时间后，因使用环境及使用状况之差异，为了防止意外及确保风机过滤器单元的正常运转，请务必实施下列定期点检。
4-2.1 定期维护
(1)定期维护项目请依表 3.所示，对风机过滤器单元实施定期点检，当部件寿命已至时，请立即进行部件更换。(部件寿命指一般使用状况下之寿命，会因使用环境及使用状况而有所差异)。
(2)当由于不可抗力(如地震、电击…..等)或化学药品的泄 漏 (腐蚀气体…..等) 意外发生，
停机再启动后，请务必实施相同的检查。

3. 定期维护项目

表 4  消耗性部件的更换期间 ( 我司建议 )

4.2.2 点检完成
点检完成后，清洁工作场所及确认风机过滤器单元在正常运转状况；保留点检报 告 ,当部件更换或机体更新时作为参考。
3 4-3 故障排除
•若有以下现象发生，连络本公司并告知机身编号、机型、电压及不良现象(尽可能详细) ，然后慎重的调查问题的起因及采取适合的改善措施。

● 非服务技术人员请勿拆解、修理或修改风机过滤器单元，以避免造成严重的意外，例如触电或火灾。

● 当需要更换服务备品时，请务必依本说明书中表 1.所列之部件名称提供予服务人员。
● 任何未经认可之代用品，不仅可能会影响风机过滤器单元的性能，同时可能造成火灾、触电或其它危险。

FFU概念及FFU原理

Fan Filter Unit（风机过滤单元机组）简称FFU，是由高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器（ULPA）、微型风机、壳体组合而成的净化空调末端，其用于乱流及层流洁净室内。FFU通常都是与吊顶骨架配合使用，根据吊顶骨架的不同选择与之对应的FFU。FFU的洁净方式可以实现空气洁净度等级要求在ISO3∽ISO9（即1级∽100万级）之间的洁净室。

常见的洁净室空气处理方式有两种，分别是MAU+AHU+HEPA（以下简称AHU系统）和MAU+FFU+DC干盘管（以下简称FFU系统）。通过对两种方式的比较得出：FFU在净化空调系统中充当了净化循环机组，洁净室的循环风量等于洁净室内FFU的风量总和。洁净室的空气是由FFU从洁净天花夹层中送进洁净室内，并通过回风夹道将循环空气再送回到天花夹层；循环空气在通过回风夹道时与安装在夹道中的DC干盘管进行热量交换。

附FFU特点及用途

FFU的特点：低能耗、低噪音、方便灵活、节约空间、易安装。

低能耗：从FFU的组成部件来看，需要消耗能量的只有微型风机，而微型风机的功率一般都是在110w∽190w之间，虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。通常洁净室的循环风量是很大的，以面积为100m2、洁净室内高为3m、空气洁净度等级要求为ISO6（即1000级）的洁净室为例：《洁净厂房设计规范（GB500073—2001）》规定空气洁净等级为ISO6的洁净室的换气次数为50∽60次/h。我们在这里取换气次数为55次/h，FFU则总循环风量为16500CMH，补新风量我们取3000CMH。

方案1AHU系统中：MAU的全压损失为700Pa,功率为2.2kw;AHU的全压损失为1300Pa，功率为15kw；整个系统的总功率为17.2kw。

方案2FFU系统中：MAU的全压损失为800Pa,功率为2.2kw；FFU规格为1200×600，风量1200CMH)有14个，单个FFU的功率为190W,FFU总功率为2.66kw；整个系统的总功率为4.86kw。

通过对方案1、2的功率比较，我们得出一个结论：FFU在系统充当循环风柜和高效过滤器的集合体，而且其消耗的功率远比循环风柜AHU功率的要小，符合现在大力提倡节约型社会的主题，并给厂方在节约生产成本方面找到一个新的方向。

低噪音：《中户人民共和国国家标准城市区域噪声标准》规定：工业区FFU昼间65db(A)、夜间55db(A)。目前市场上风机的噪音值一般是在65∽90db(A)，有的甚至会达到100db(A) 以上，如果采用AHU系统就很容易噪声超标，造成噪声污染。而FFU的噪音值一般是在45∽55db(A)，这样就不会担心其噪声会超标。

随着科学技术的日新月异，尤其是军事工业、航天、电子和生物医药等工业的发展，促使洁净技术的发展也随之突飞猛进，对FFU的需求也越来越大。本文重点阐述了FFU的特点及控制方式，并结合现代电子洁净室对空气洁净度等级的要求；分析了FFU应用在洁净室中的优势，并介绍了FFU在实际工程案例中的应用。

随着科学技术的日新月异，尤其是军事工业、航天、电子和生物医药等工业的发展，促使洁净技术的发展也随之突飞猛进。现代化工业产品生产和现代化科学实验活动要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。电子计算机就是微型化产品中最具代表性的产品之一，电子管到半导体分离器件到集成电路再到超大规模集成电路。特别是20世纪80年代大规模集成电路和超大集成电路的迅速发展，大大促进洁净技术的发展。

附：洁净室的空气洁净度，应进行下列测试

(一)空态、静态测试

空态测试:洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。

静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。

(二)动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。

洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

二、空态、静态测试

(一)测试前的准备

1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。

2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30，000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2–3厘米处，可以2~4厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。

当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。

(二)测试内容

1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;

2、洁净室压力值;

3、层流洁净室断面风速和气流流向;

4、洁净工作区的洁净度;

5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;

6、洁净室内噪声。

(三)洁净工作区空气洁净度的测试方法对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。光散射粒子计数法:

1、光散射粒子计数器采样量100级:每次采样量大于或等于1升。l，000级-l0，000级:每次采样量大于或等于0.3升。100，000级:每次采样量大于或等于0.1升。对于100级洁净室，宜采用大流量粒子计数器进行测试;如果条件不具备时，可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。

2、采样注意事项:

(1)采样管必须干净，连接处严禁渗漏。

(2)采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不宜大于1.5米。

(3)采样管口的流速，宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。

(4)采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。

3、测点布置

(l)检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面1米

(2)层流洁净室测点总数不小于20点，测点间距为0.5~2.0米，粒径大于或等于0.5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净工作区内。

(3)乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2)。每增加20-50平方米，增加3–5个测点。

4、数据整理

(1)每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样，取其平均值，即为该点的实测数值。

(2)对于大于或等于0.5微米的尘粒数确定:层流洁净室取各测定点最大值，乱流洁净室取各测点的平均值。

(四)正压值测定应采用精度可达0.01毫米水柱的微压计。

三、动态测试。在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行，测试方法同空态、静态测试。

净化空调也就是组合式空调机,净化空调能进行空气运行制冷、干燥、加热、加湿、混合、过滤净化、消声、输送等处理过程，各 功能段组合灵活，可按使用场合要求任意多功能组合，能满足各行业的空气净化，空气调节系统的需要 ，广泛应用于电子仪表、精密仪器制造、纺织、化织、卷烟、制药、医院手术室、食品、化妆品、核电 站、轻化工等行业作工业性空调，也适用于影剧院、体育馆、商店、餐馆、宾馆、办公大楼等大中型公
共建筑作适应性空调。

空调送风系统通过一定的流速将灰尘送到过滤系统当中，初级过滤器将5um以上大颗粒灰尘留在过滤表 面，中效过滤器将1um-5um颗粒抓取，高效过滤器将0.3um-0.5um以上灰尘颗粒过滤，从而保证无尘车间等级！
无尘室空调特性：

微尘粒子（按等级要求）
温度（22-23摄氏度DB），湿度（40-45%RH）
恒温恒湿控制要求（正负0.1摄氏度，正负2%）
全外气与高换气次数（化学药品，气体，挥发溶剂）
全天候（24hr）运转（负荷大，备份机组）

气流分布与控制
高能耗，高运转以及维修成本（1.4-1.9KW/m2）
空气循环量计算：
1、依空气换气次数（ACH）
Q=V*ACH
（m3/hr）=（m3/次）*（次/hr）
（2）依气流速度（Airvelocity）

Q=V*A
（m3/hr）=（m/s）*（m2）
循环风量=风速*面积（房间或回风口）

2、依气流速度（Airvelocity）
Q（立方米/hr）=v(m/s)*A(m2)

循环风量=风速*面积
（1）外气量（Q1与Q2较大者）
Q1=制程排气量（Qe）+间隙外洩量（Qi）+关门外泄量（Qd）
（2）外气量=排气量+10%排气量（泄漏）+1%循环空气量=8~10%循环空气量

空调内过滤网设计方案
AirFilter（空气过滤器.滤网）
初级滤网–外气入口 （Pre-filter）（5um↑）
重击滤网–空调箱中 （MediumEfficiencyFilter’BagFilter） （1um↑）
高效率滤网–无尘室 （HighEfficiencyParticulateAirFilter’HEPA） （1um↓）
超高效率滤网–Class100↑ （UltraLowPenetrationAirFilter’ULPA） （o.5u↓）
空调净化应用
空调内滤网及空调系统示意图

根据行业制程的不同要求，产品对无尘等级的要求不同，对过滤器的选型也是不一样的，不但要对应过滤颗粒粒径大小而设计，还要考虑空气过滤器中不同规格的参数比如初阻力，效率精度，流速等因素来设计，选取相应的过滤器。